
高精度大型程影像測量儀
產(chǎn)品描述:光罩技術(shù)的GM超高精度影像式測量儀系列,為湖北高天shou創(chuàng)之zhuang利光罩技術(shù)制造而成,此技術(shù)已獲、中國臺灣及大陸等地區(qū)的發(fā)明和創(chuàng)新zhuan利。此類機種的精度幾乎不受機械誤差及阿貝誤差影響,尤其是X、Y軸行程在600mm × 500mm以上的機型,無論是XY軸向精度,還是XY平面坐標精度皆能在5μ內(nèi),其度比所有百萬價值內(nèi)的、或其它國外的機器更。
高精度大型程影像測量儀
產(chǎn)品規(guī)格及參數(shù):
儀器型號  | GT-CNC-1012D  | GT-CNC-1016D  | GT-CNC-1218D  | GT-CNC-1525D  | |
工作臺  | XY軸行程  | 1000/1200  | 1000/1600  | 1200/1800  | 1500/2500  | 
Z軸行程  | 有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm,工作距離95mm  | ||||
金屬臺面尺寸  | 1200/1400  | 1200/1800  | 1400/2000  | 1700/2700  | |
玻璃臺面尺寸  | 1100*1300  | 1100*1700  | 1300*1900  | 1600*2600  | |
傳動型式  | X/Y/Z軸精密線性導軌/研磨級滾珠螺桿  | ||||
測量伺服驅(qū)動  | 光學尺分辨率:X/Y/Z軸0.0005MM(0.5UM)  | ||||
測量精度:≤3UM+L/200 重復精度:≤3UM+L/200  | |||||
X/Y/Z三軸中國臺灣高性能伺服電機,雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)  | |||||
影像系統(tǒng)  | 
 
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鏡頭:NAV高清變倍鏡頭/連續(xù)放大倍率0.7-4.5X  | |||||
光源系統(tǒng)  | 表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長、亮度可調(diào)  | ||||
儀器外形尺寸(L*W*H)  | 1750MM*2100MM*1650MM  | 1750MM*2650MM*1650MM  | 2000MM*2850MM*1650MM  | 2400MM*3500MM*1650MM  | |
儀器重量(KG)  | 2800  | 3600  | 4500  | 5500  | |